工业控制

A-Tencor新推出Aleris 8500薄膜度量系统

KLA-Tencor推出Aleris系列薄膜度量系统，该系列从Aleris 8500开始，是业界第一套将可用于生产的成份与多层薄膜厚度测定结合在一起的系统。

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