工业控制

罗门哈斯推出研磨垫VisionPad 5000

罗门哈斯公司(ROHM AND HASS)电子材料CMP技术事业部近日宣布其VisionPad平台家族又增添一款新品??VisionPad 5000 CMP研磨垫。这款研磨垫可用于65nm以下存储及逻辑芯片的量产，能大大降低浅沟槽隔离工艺(STI)及层间绝缘(ILD)应用的缺陷率。

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